1. Defnyddio magnetron i boeri
Mae yna dri math o sputtering magnetron: amledd radio, amlder canolraddol, a sputtering DC.
A. Mae dwysedd y ffilm dyddodiad yn isel ac mae'r cyflenwad pŵer sputtering DC yn rhad. Yn nodweddiadol, mae batris ffotothermol domestig a batris ffilm tenau yn dewis defnyddio'r dechneg gan nad oes angen llawer o egni arno ac mae'n defnyddio metel dargludol fel y targed sputtering.
B. Mae egni'r RF sputtering braidd yn uchel. Gellir defnyddio targed dargludol neu darged an-ddargludol fel y targed sputtering.
C. Gellir defnyddio targed metel neu seramig fel y targed sputtering amledd canolig.
2. Dosbarthiad a defnydd targedau sputtering
Daw targedau sputtering mewn amrywiaeth o siapiau a meintiau, ac nid ydynt i gyd yn cael eu categoreiddio yn yr un modd. Gellir eu categoreiddio yn dargedau hir, targedau sgwâr, a thargedau crwn yn seiliedig ar siâp, ac yn dargedau metel, targedau aloi, a thargedau wedi'u gwneud o gyfansoddion ceramig yn seiliedig ar gyfansoddiad. Gellir ei wahanu'n dargedau cerameg sy'n gysylltiedig â lled-ddargludyddion, targedau cerameg ar gyfer cyfryngau recordio, targedau cerameg ar gyfer arddangosiadau, ac ati yn seiliedig ar wahanol feysydd cymhwysiad. Sectorau electroneg a gwybodaeth, gan gynnwys storio gwybodaeth, yw prif ddefnyddwyr targedau sputtering. Mae disgiau caled, pennau magnetig, disgiau optegol, a chynhyrchion ffilm tenau cysylltiedig eraill yn cael eu creu yn y busnes hwn gan ddefnyddio targedau sputtering.
Ar hyn o bryd. Mae'r farchnad ar gyfer cofnodi targedau ceramig canolig yn gweld cynnydd yn y galw oherwydd twf parhaus y diwydiant gwybodaeth, ac mae cofnodi ymchwil a datblygu targed canolig bellach yn cael llawer o sylw yn y cyfryngau.





