Mae arwyneb targed yn cael ei lanhau i gael gwared ar unrhyw lwch neu faw a all fod yn bresennol. Gellir defnyddio pedwar cam i lanhau targedau metel:
Mae glanhau'n cael ei wneud i ddechrau gan ddefnyddio lliain meddal wedi'i socian aseton sy'n rhydd o lint;
I lanhau ag alcohol, mae'r ail weithdrefn yn debyg i'r cyntaf;
Glanhau gyda dŵr deionized yw'r trydydd cam.Dylid sychu'r targed mewn popty am 30 munud ar 100 gradd Celsius ar ôl cael ei lanhau â dŵr wedi'i ddad-ïoneiddio. I lanhau'r targedau ocsid a seramig, cynghorir "lliain di-lint".
Mae'r targed yn cael ei fflysio ag argon pwysedd uchel, lleithder isel yn y pedwerydd cam i gael gwared ar unrhyw amhureddau a allai arwain at arcing yn y system sputtering.
Gwnewch yn siŵr bod eich dwylo'n lân ac yn rhydd o lint cyn defnyddio'r deunydd targed. Peidiwch byth â rhoi eich dwylo'n uniongyrchol ar y sylwedd targed.
Rhaid symud y spatter cronedig yn y ganolfan a dwy ochr y trac sputtering yn raddol er mwyn atal cylched byr a arcing a achosir gan y ceudod budr yn ystod y broses sputtering. Mae hyn hefyd yn galluogi'r defnyddiwr i weithredu'n barhaus ar y dwysedd pŵer uchaf. Sputtering.
