Bydd effaith rhwymo targed ac ansawdd leinin ar araen ardal fawr yn cael ei drafod yn y papur hwn. Bydd rhai deunyddiau â chaledwch isel, fel metelau, aloion, ac ocsidau sy'n dueddol o gracio, yn cael eu heffeithio yn ystod y broses cotio. Mae'r targed cylchdroi yn aml yn cael ei rwymo i'r leinin dur di-staen yn ystod y paratoi, ac mae'r targed fel arfer wedi'i rwymo i'r plât cefn copr pan fydd cracio'n digwydd. Indium metel neu gyfansoddion metel eraill yw'r cynhwysyn rhwymol a ddefnyddir amlaf.
Gall helpu gydag ychydig o faterion sy'n ymwneud â diffyg cryfder mecanyddol y deunydd targed yn ogystal ag atal rhwygiad anfwriadol o'r deunydd targed wrth ei gludo. Er mwyn mynd i'r afael â'r mater o ddefnydd cyfyngedig o dargedau maint mawr, mae'r technegau hyn yn cynnwys gosod targedau i'r plât cefn. Gall warantu cyswllt trydanol ac oeri priodol y deunydd targed, yn ogystal â gwarchod rhag cracio targed a sputtering anwastad.
Bydd dargludedd thermol anwastad yn arwain at sputtering anwastad o'r deunydd targed (ffurfio ffilm anwastad), yn ogystal â nodules arwyneb a ffenomenau rhyddhau. Yn ogystal, bydd ffurfio ffilm anwastad yn arwain at liw haen ffilm anwastad, a fydd yn effeithio ar sut mae'r haen dielectrig yn newid yn dibynnu ar y cynnyrch terfynol. Cynyddu nifer y cotio sy'n cael ei wrthod, amlwg.O ganlyniad, mae eiddo rhwymo'r deunydd targed yn effeithio'n fawr ar sut mae'n cael ei ddefnyddio. maint rhai targedau cylchdroi metel neu aloi sydd â dargludedd thermol da ond nad oes angen eu rhwymo, fel targedau ZnAl, ZnSn, a SiAl, yn cynyddu gyda thymheredd.
Mae cyfernod rheoleidd-dra'r newid a'r newid yn wahanol i'w gilydd, felly mae'n rhaid defnyddio rhai deunyddiau cysylltu ar gyfer bondio. Os yw'r cymysgedd yn wael, bydd y deunydd targed yn cynhesu'n anwastad, bydd dargludiad gwres yn cael ei rwystro, a bydd cracio a chwympo i ffwrdd yn digwydd. Bydd y problemau hyn yn effeithio ar ansawdd y cotio a'i allu i gynhyrchu nwyddau.
Yn gyffredinol, mae gan y deunydd targed ceramig afradu gwres gwael oherwydd cynhyrchu gwres uchel y deunydd targed yn ystod y broses sputtering. Mae'n syml cynhyrchu gwres lleol yn ystod y broses sputtering os oes gan y bondio ardal fawr a bod y bondio yn wael. Mae Indium, deunydd rhwymo pwynt toddi isel, yn cronni ac yn toddi, sy'n achosi i'r deunydd targed gracio neu hyd yn oed ddod i ffwrdd.
Mae'r cotio targed yn dibynnu'n fawr ar rwymo'r deunydd targed a chalibr y tiwb leinin. Mae hyn yn galw am broffesiynoldeb y tîm yn ogystal â bod yn effro i alluogi gosod ffilm effeithiol.





