Heddiw, byddwn yn trafod amodau'r siambr, y ffactor olaf sy'n dylanwadu ar greu haenau ardal fawr. Mae gan y deunydd targed ei hun broblemau gydag ansawdd, ffurf, cyfeiriadedd grisial, a ffactorau eraill. Y prif wahaniaeth rhwng y ffactorau presennol a'r rhai a nodwyd yn flaenorol yw bod y ffactorau presennol yn ymwneud â chyflwr allanol yn unig yn hytrach na'r deunydd targed ei hun.
Bydd y golygydd wedyn yn gadael i chi ddeall yn llawn sut y bydd amodau'r siambr yn effeithio ar ffurfiant ffilm y targed.
P'un a yw'r ceudod yn lân neu'n aflan, neu os yw'r broses gynhyrchu yn cymryd gormod o amser, bydd mwy o halogion yn amsugno ar wyneb y ceudod. Bydd yr halogion hyn yn amlygu yn ystod y broses weithgynhyrchu a byddant yn cadw at wyneb y targed. Mae gwefrau yn debygol o gronni yn yr ardal amgrwm yn ystod y broses sputtering, a fydd yn cynyddu maint y nodules ac yn arwain at ollyngiad sylweddol a fydd hefyd yn cael effaith. effaith ar ansawdd y ffilm.
Yn ogystal, gall y sputtering nonconductive a gynhyrchir gan yr adwaith lynu at wyneb y deunydd targed a ffurfio nodules os bydd ychydig o aer yn gollwng yn y siambr, a fydd yn lleihau effeithlonrwydd ac unffurfiaeth creu ffilm. O ganlyniad, bydd y defnydd o mae amodau'r siambr yn dylanwadu'n fawr ar y targed.
Yn y dechrau, mae'r buildup yn syml i'w ddileu trwy losgi'r targed gydag argon pur, ond os na chaiff sylw, bydd y buildup yn cynyddu yn y pen draw ac yn achosi arcing sylweddol, sy'n cael effaith ar gynhyrchu. Dylid llosgi'r targed gyda chryf cerrynt cyn pob cynhyrchiad er mwyn tynnu unrhyw halogion o'i arwyneb. Er mwyn cynnal amgylchedd glân ar gyfer cotio, caiff y siambr wactod ei chaboli, ei hwfro a'i sychu fel mater o drefn. Mae'r rhwyd bagiau hefyd wedi'i sgwrio â thywod i gael gwared ar unrhyw adweithyddion metel sy'n glynu wrtho.
Bydd defnydd y deunydd targed yn cael ei effeithio gan amgylchedd y siambr cotio, a fydd hefyd yn cael effaith ar ansawdd y ffilm. Bydd ffocws y rhan fwyaf o bobl yn ystod y broses cotio ar y targed ei hun, gan anwybyddu amodau'r siambr, felly o bryd i'w gilydd cyfran sylweddol o'r mae cotio anfoddhaol yn cael ei achosi gan hyn.Dylai ffrindiau fod yn ymwybodol o amodau'r siambr ar ôl darllen y traethawd hwn, gobeithio!
