Mae targedau sputtering yn cael eu cyflogi'n eang mewn llawer o ddiwydiannau diolch i ddatblygiad gwyddoniaeth a thechnoleg.Today, byddaf yn cyflwyno'r prosesau cynhyrchu targed molybdenwm a tharged alwminiwm yn bennaf.
Gan ddefnyddio meteleg powdr, crëir targed gwag ar gyfer y deunydd targed molybdenwm. Mae'r gwag targed yn cael ei brosesu'n fecanyddol a'i weldio ag awyren gefn copr di-ocsigen (OFC) mewn amgylchedd glân i ffurfio targed sylfaenol. Nid yw'r targed sylfaenol yn ddinistriol trwy archwilio canfod diffygion ultrasonic, mae'r gyfradd bondio weldio yn cyrraedd 98% neu fwy, ac yna mae prosesu mecanyddol manwl yn cael ei wneud i sicrhau cywirdeb y deunydd targed a chwrdd â'r arbelydru.
Proses ar gyfer cynhyrchu deunydd targed alwminiwm: Mae'r deunydd crai yn cael ei dorri'n ddarnau yn gyntaf yn y ffatri, ei wella trwy brosesu plastig a thriniaeth wres i greu targed yn wag, sydd wedyn yn cael ei brosesu a'i lanhau'n fecanyddol gan ddefnyddio awyren gefn copr di-ocsigen (OFC).
Er mwyn sicrhau cywirdeb y deunydd targed a chydymffurfiad â'r maes trydan targed, maes magnetig, sianel ddŵr oeri, ac ati, mae prosesu mecanyddol dirwy yn cael ei wneud ar ôl i'r deunydd targed sylfaenol gael ei weldio yn yr amgylchedd. Mae'r deunydd targed sylfaenol yn cael ei brofi gan archwiliad nondestructive ultrasonic, ac mae'r gyfradd cyfuniad weldio yn uwch na 98%. Angenrheidiau gosod; ar ôl glanhau a phacio yn yr ystafell lân, gosodir y targed gorffenedig mewn bag plastig penodol i warchod rhag ocsideiddio, llygredd a lleithder. Mae hyn yn cael gwared ar unrhyw ddeunydd anorganig neu organig a allai fod wedi glynu wrth yr wyneb.
