Gyda datblygiad cyflym technoleg lled-ddargludyddion, mae'r galw am tantalwm a ddefnyddir fel ffilm sputtered yn cynyddu'n raddol. Mewn cylchedau integredig, mae tantalwm yn gweithredu fel rhwystr trylediad. rhwng y silicon sych a'r corff arweiniol. Y dulliau cynhyrchu o chwistrellu targedau yw meteleg ingot (L/M) a meteleg powdr (P/M). Mae targedau a ddefnyddir yn gyffredin yn cael eu gwneud yn gyffredinol o ingotau molybdenwm, ond mewn rhai achosion arbennig, megis targedau aloi arian-silicon, ni ellir defnyddio'r dull L / M oherwydd y gwahanol ymdoddbwyntiau tantalwm a silicon a chaledwch isel cyfansoddion silicon. Dim ond meteleg powdr y gellir ei ddefnyddio fel y targed.
Mae perfformiad y targed yn effeithio'n uniongyrchol ar berfformiad y ffilm sputtered. Rhaid i sylweddau sy'n halogi'r ddyfais lled-ddargludyddion beidio â bod yn bresennol wrth ffurfio'r ffilm. Yn ystod ffurfio'r ffilm sputtering metel, os oes amhureddau yn y targed tantalwm, bydd amhureddau'n cael eu cyflwyno i'r siambr sputtering tantalwm, gan achosi gronynnau bras i gysylltu â'r swbstrad targed ac achosi i'r cylched ffilm denau fethu. Ar yr un pryd, gall amhureddau hefyd achosi cynnydd o ronynnau allwthiad yn y ffilm tenau. Yn benodol, mae amhureddau fel ocsigen nwyol, carbon, hydrogen, nitrogen, ac ati, sy'n bresennol yn y targed yn fwy niweidiol oherwydd eu bod yn achosi gollyngiad annormal, gan achosi problemau gydag unffurfiaeth y ffilm ffurfiedig. Yn ogystal, ar gyfer dulliau meteleg powdr, mae unffurfiaeth y ffilm a adneuwyd yn swyddogaeth o'r maint grawn yn y targed, gyda grawn mân yn y targed yn arwain at ffilm fwy unffurf. Felly, mae gofynion uchel ar gyfer ansawdd y powdr tantalwm a thargedau tantalwm.
Er mwyn cael targedau powdr arian a thantalwm o ansawdd uchel, rhaid lleihau'r cynnwys amhuredd mewn powdr molybdenwm yn gyntaf, a rhaid gwella purdeb powdr tantalwm. Fel y gwyddom i gyd, mae perfformiad deunydd tantalwm yn gymharol sefydlog, ond mae powdr tantalwm â maint gronynnau cymharol fân yn weithgar iawn. Hyd yn oed ar dymheredd arferol, mae'n hawdd adweithio ag ocsigen a nitrogen, a fydd yn cynyddu'n fawr gynnwys amhureddau fel ocsigen a nitrogen yn y powdr tantalwm. gwella. Er y gall purdeb rhai cynhyrchion tantalwm metel fel ingotau tantalwm masnachol gyrraedd 99.995 y cant neu hyd yn oed yn uwch, po fwyaf yw'r powdr tantalwm, po uchaf yw'r gweithgaredd cyfatebol, a'r gallu i arsugniad ocsigen, nitrogen, hydrogen a charbon hefyd yn cynyddu. Mae codi purdeb powdr tantalwm uwchlaw 99.99 y cant bob amser wedi'i ystyried yn eithaf anodd ac anodd ei gyflawni. Ystyrir hyd yn oed ei bod yn anodd lleihau cynnwys unrhyw un o'r amhureddau niweidiol ocsigen, carbon, hydrogen a nitrogen ymhellach, ac mae hyd yn oed yn anoddach lleihau cynnwys y pedwar amhuredd niweidiol hyn ar yr un pryd. Fodd bynnag, mae lleihau maint gronynnau powdr tantalwm yn angenrheidiol iawn i wella ansawdd powdr tantalwm a thargedau tantalwm. Mae'r maes targed yn gobeithio cael powdr tantalwm purdeb uchel gyda maint gronynnau cyfartalog D<25>
Gall Baoji Yusheng Metal Technology Co, Ltd gynhyrchu gwahanol fathau o gynhyrchion tantalwm megistargedau tantalwm purdeb uchel, targedau tantalwm sputtering, a thargedau tantalum ar gyfer lled-ddargludyddion. Anghenion prynu cyfatebol, gallwch gysylltu â staff ein cwmni ar unrhyw adeg.
