Er mwyn effeithio ar ïonau argon (Ar) ar wyneb y targed yn ystod cotio gwactod, defnyddir gollyngiad glow yn bennaf.
Mae atomau'r deunydd targed yn cael eu taflu allan ac yn cronni ar wyneb y swbstrad i ffurfio haen denau.Mae nodweddion ffilm sputtered a homogeneity yn well na rhai'r ffilm anweddedig, ond mae ei gyflymder cotio yn sylweddol arafach. magnetau i gyflymu ionization argon o amgylch y targed trwy droellog electronau.
yn cynyddu'r tebygolrwydd o wrthdrawiad rhwng y targed a'r ïonau argon,
Hwb y sputtering rate.In gyffredinol, defnyddir sputtering DC yn bennaf ar gyfer haenau metel, tra bod RF AC sputtering yn cael ei ddefnyddio ar gyfer deunyddiau seramig nad ydynt yn dargludol. Y syniad sylfaenol yw defnyddio gollyngiad glow mewn gwactod.
gollyngiad) Mae'r catïonau yn y plasma yn cyflymu i'r wyneb electrod negyddol wrth i'r deunydd sbuttered wrth i'r ïonau argon (Ar) daro'r wyneb targed. Bydd y deunydd targed yn hedfan allan ac yn adneuo ar y Ffilm swbstrad o ganlyniad i'r effaith hon. Yn gyffredinol, mae cymhwyso'r dechneg sputtering ar gyfer cotio ffilm yn cynnwys y nodweddion canlynol:
(1) Gellir creu deunydd ffilm o fetel, aloi neu ynysydd.
(2) Gellir defnyddio targedau lluosog a chymhleth i greu ffilm denau gyda'r un cyfansoddiad pan fo'r amodau cywir yn bresennol.
(3) Gellir cymysgu neu gymhlethu deunydd targed a moleciwlau nwy trwy ychwanegu ocsigen neu nwyon gweithredol eraill i'r atmosffer rhyddhau.
(4) Gellir cael trwch ffilm manwl uchel yn hawdd trwy reoli'r cerrynt mewnbwn targed a'r amser sputtering.
(5) Mae'n fwy addas ar gyfer creu ffilmiau homogenaidd ardal fawr o'i gymharu â dulliau eraill.
(6) Gellir ffurfweddu safleoedd y targed a'r swbstrad yn fympwyol, ac yn y bôn nid yw disgyrchiant yn effeithio ar y gronynnau sputtering.
(7) Oherwydd bod y gronynnau sputtered yn cario egni uchel, byddant yn parhau i wasgaru ar yr wyneb ffurfio ffilm i gynhyrchu ffilm gref a thrwchus. Mae'r cryfder adlyniad rhwng y swbstrad a'r ffilm yn fwy na 10 gwaith yn fwy na'r ffilm dyddodi anwedd arferol. Ar yr un pryd, nid oes angen llawer o egni ar y swbstrad oherwydd i'r uchel Ar dymheredd is, gellir cynhyrchu ffilm wedi'i grisialu.
(8) Gallai dwysedd cnewyllol uchel yn ystod camau cynnar ffurfio ffilm arwain at ffilmiau di-dor tra-denau â thrwch o lai na 10 nm.(9) Gall y deunydd targed gael ei weithgynhyrchu'n awtomatig ac yn barhaus am amser hir ac mae ganddo a Bywyd hir.
(10) Gall y deunydd targed gymryd amrywiaeth o siapiau diolch i ddyluniad unigryw'r peiriant, sy'n caniatáu mwy o reolaeth a'r mwyaf
