Meysydd cais o ddeunyddiau targed tantalwm

Defnyddir yn bennaf mewn dyddodiad anwedd corfforol a phrosesau eraill, yn ystod y broses sputtering, mae atomau ar wyneb targed tantalwm yn cael eu peledu a'u hadneuo ar ffurf ffilm denau ar y swbstrad i gael y deunydd ffilm tenau a ddymunir.
Mae pwynt toddi tantalwm mor uchel â 2996 gradd, sy'n galluogi targedau tantalwm i gynnal sefydlogrwydd adeileddol da mewn -amgylcheddau taenu tymheredd uchel ac nid yw'n hawdd ei ddadffurfio na'i anweddu. Mae'r dwysedd fel arfer yn uwch na 16.6g / cm ³, a all leihau problemau cracio neu anffurfio yn ystod sputtering, tra'n lleihau tasgu gronynnau a gwella ansawdd y ffilm. Ar y tymheredd sputtering, nid yw'n hawdd anweddol, gan sicrhau colled lleiaf posibl o'r deunydd targed yn ystod y broses sputtering a darparu atomau tantalwm sefydlog ar gyfer dyddodiad ffilm tenau.
Mae priodweddau cemegol tantalwm yn sefydlog iawn, a phrin y mae'n adweithio ag asidau eraill ac eithrio asid hydrofluorig ac asid sylffwrig crynodedig poeth. Gellir ei ddefnyddio hefyd am amser hir mewn amgylcheddau cemegol llym, ac mae gan y ffilm tantalwm a wneir ohono ymwrthedd cyrydiad da hefyd. Mae wyneb tantalwm yn dueddol o ffurfio ffilm passivation tantalwm ocsid trwchus a sefydlog, a all atal cyrydiad ocsideiddio pellach yn effeithiol a gwella bywyd gwasanaeth y deunydd.
Maes cais
Wrth gynhyrchu cylchedau integredig, defnyddir deunyddiau targed tantalwm i baratoi haenau rhwystr trylediad, atal rhyng-gysylltiadau copr rhag ymledu i swbstradau silicon, gwella dibynadwyedd a pherfformiad dyfeisiau, a gellir eu defnyddio hefyd fel deunyddiau giât neu ran o gatiau metel ar gyfer MOSFETs, yn ogystal ag electrodau cynhwysydd mewn dyfeisiau cof dwysedd uchel megis DRAM.
Wrth gynhyrchu arddangosiadau crisial hylifol (LCDs) a deuodau allyrru golau organig (OLEDs), defnyddir targedau tantalwm i baratoi haenau electrodau a gwifrau transistorau ffilm tenau (TFTs). Mae eu sefydlogrwydd a'u dargludedd yn helpu i wella ansawdd arddangos. Yn ogystal, gellir eu defnyddio hefyd fel haenau amgáu ffilm tenau mewn OLEDs i ymestyn oes dyfais.
Fe'u defnyddir ar gyfer paratoi ffilmiau optegol megis haenau neu hidlwyr gwrth-adlewyrchol, mae gan ffilmiau tantalwm purdeb uchel fynegai plygiant unffurf a gwydnwch da, sy'n addas ar gyfer offerynnau optegol manwl fel lensys camera a dyfeisiau laser. Mewn amgylcheddau cemegol, petrolewm, morol ac eraill, gall haenau gwrth-cyrydu a baratowyd o ddeunyddiau targed tantalwm amddiffyn offer, piblinellau a chynwysyddion rhag cyrydiad yn effeithiol.